平面度檢查儀采用掠入射光干涉原理,專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測量評估,廣泛應用于航空航天,汽車(chē)工業(yè)噴油嘴行業(yè),泵、閥門(mén)密封件表面,以及光學(xué)工程,激光工程等領(lǐng)域。
機械平面度的測量方法有使用表面輪廓儀、準直儀、高度表、三坐標測量機等設備來(lái)進(jìn)行的,這些設備在測量平面度時(shí),往往只能放映局部的偏差;而且測量工作煩瑣,設備的投入成本高,對操作人員的經(jīng)驗和知識也要求較高。
對平面度檢測的要求很高,使用前要測量平面度是否達到國家的標準,檢測合格后才能夠投入使用,一般的檢測方法有以下三種:
1.計算法
應用計算公式獲得平面度誤差值,該法有計算準確的優(yōu)點(diǎn),但需事先判準高低點(diǎn),否則將造成計算錯誤或影響其計算準確度。用計算法獲取鑄鐵平臺對角線(xiàn)法原始數據的方法對角線(xiàn)法是以對角線(xiàn)平面為理想平面評定平面度的一種數據算得方法。數據處理是將水平儀或自準直儀得到的截面各點(diǎn)相對于該截面兩端點(diǎn)連線(xiàn)的直線(xiàn)度偏差值折合到對角線(xiàn)平面上,計算出相對于理想平面偏差。當按對角線(xiàn)原則評定時(shí),則取其大偏差于小偏差的代數差為所求平面度誤差值;當按小條件原則評定時(shí),則將計算出相對理想平面的偏差作為對角線(xiàn)法的原始數據。
2.旋轉法
旋轉法是將測基面經(jīng)過(guò)適當變換(旋轉或平移),使測量基面和評定基面重合,獲得符合小條件的位置,通過(guò)測量數據的交換獲取平面度誤差。該法不需使用繪圖或計算工具,有簡(jiǎn)便易行的優(yōu)點(diǎn),具體操作時(shí)常需做多次旋轉,對不熟練者效率不高。但該法是基本的方法,只要掌握旋轉要領(lǐng),終必能達到目的。
3.圖解法
圖解法是一種幾何作圖求解法。它是以各測點(diǎn)的測量值按比例在進(jìn)角坐標系上描點(diǎn),用作圖方式從坐標圖上量取平面度偏差值。它有簡(jiǎn)單、直觀(guān)的優(yōu)點(diǎn),但該法需用坐標紙準確作圖,且有作圖誤差,適合現場(chǎng)使用。